1.针对工艺快速扩散系统中的扩散工艺路线决策问题，提出了扩散工艺路线优选模型。
2.这为改进激光诱导扩散工艺，用多次曝光实现面均匀的杂质浓度分布奠定了理论基础。
3.提升温度扩散工艺被称为烧结，有时还辅之以外界的压力来达到目的。
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